安徽大新工業(yè)爐有限公司制造的退火爐料筐發(fā)往河北

退火爐料筐

河北退火爐料筐裝車

       退火爐是在半導體器件制造中使用的一種工藝，其包括加熱多個半導體晶片以影響其電性能。熱處理是針對不同的效果而設(shè)計的。可以加熱晶片以激活摻雜劑，將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面，使致密沉積的薄膜，改變生長的薄膜的狀態(tài)，修復注入的損傷，移動摻雜劑或?qū)�摻雜劑從一個薄膜轉(zhuǎn)移到另一個薄膜或從薄膜進入晶圓襯底。

       退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中，例如氧化，或者可以自己處理。退火爐是由專門為加熱半導體晶片而設(shè)計的設(shè)備完成的。退火爐是JN型周期式作業(yè)爐，超JN結(jié)構(gòu)，采用纖維結(jié)構(gòu)，節(jié)電60%，退火爐主要供各種金屬真空光亮退火之用，也可作其它熱處理之用。